Кафедра занимается подготовкой специалистов по образовательной программе 010900 "Прикладная математика и физика", а также подготовкой специалистов по магистерской программе "Физика и технология наноэлектронных приборов".
Программа общетеоретического обучения включает ряд дисциплин:
"Физические основы и методы метрологии" (Бегишев А. Р., программа)
"Физико-технологические проблемы поверхности и границ раздела" (Матюшкин И. В., программа)
"Поверхность и физико-химические свойства макро и нанокристаллов" (Бокарёв В. П., программа)
"Физические и физико-химические процессы в монокристаллическом кремнии" (Итальянцев А. Г., программа)
"Основы технологии микро и наноэлектроники"
"Семинар по современным проблемам микроэлектроники" (Горнев Е. С.)